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UV LED 微影曝光系統
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先進UV LED光引擎ALE/1C微影曝光系統3
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先進UV LED光引擎ALE/1C微影曝光系統

適用於6吋和8吋晶圓光罩對準曝光機的高功率UV LED準直光源系統

規格與說明

ALE/1C UV LED曝光系統取代傳統1 kW汞放電燈

Primelite UV LED曝光系統—先進光引擎ALE/1C是一種強大的點光源,可應用於許多高性能工業UV曝光製程,適用於6吋和8吋晶圓的半自動和自動光罩對準曝光機或寬頻晶圓步進機系統(1X步進機/迷你步進機)。基於UV LED技術,其性能優於傳統高壓汞放電燈,具有出色的光源輸出穩定性和靈活的光譜控制,還具備低能耗、不產生太多的熱、使用壽命長,且整體維護成本低等優勢。

Primelite秉持將產品打造為多功能平台的原則,ALE/1C UV LED曝光系統也不例外–允許您在光路中組合多達三個不同的UV LED晶片,多數情況下是i line (CWL 365 nm)、h line (CWL 405 nm) 和 g line (CWL 436 nm)等波長的LED晶片,其照明射功率超過傳統1 kW汞放電燈。

 

產品特色
  • 內建解決方案可實現最大曝光效率與效能
  • 高達50W的寬頻曝光 (350 - 450 nm)
  • 閉迴路控制的光源輸出可獲致最佳的製程穩定性
  • 不含汞!安全且環保的LED光源
  • UV LED技術可延長使用壽命並降低總體擁有成本TCO
  • 優異的德國製造品質


ALE/1C UV-LED 曝光系統之光源輸出:

ALE/1C的標準配置是將峰值波長與汞燈光譜i line (365 nm)、h line (405 nm)和g line (436 nm)相當的UV LED晶片組合而成。所有的UV LED晶片均可單獨控制,因此無需更換濾波片即可切換光源波長,並可自訂輸出光譜的組成。

光譜 光角分布 (方形光管輸出)

功率:

Radiation [mW]1 Optics Broad­band
(350 - 450 nm)
i-line (365 nm)
ALE/1C (高性能模式) Ø8.0 mm HEX AR 50,000 21,000
ALE/1C (標準模式) Ø8.0 mm HEX AR 40,000 17,000

 

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