輸出功率等級堪比5 kW高壓汞弧燈 Primelite高性能UV LED微影曝光系統適用於近紫外線(NUV)光譜範圍(i line--365nm / h line--405nm / g line--436nm)的微影曝光製程和精密固化解決方案。此光源適用於最大12吋晶圓的光罩對準曝光機(mask aligner)、步進曝光機(stepper)、大型基板曝光設備、奈米微壓印光刻(NIL)設備以及應用於DMD/DLP®投影的高功率無光罩直寫成像系統。 Primelite先進UV LED光引擎是小批量和大量製造的可靠選擇工具。如果您正在尋求設計新的曝光系統或改造傳統汞放電燈的替代品，那就不用再猶豫了，讓我們經過業界驗證的UV LED提供您所需要的光源。
適用於6吋和8吋晶圓光罩對準曝光機的高功率UV LED準直光源系統
業界最強UV LED點光源
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