業界最強UV LED點光源
ALE/2 UV LED曝光系統可取代傳統2-5 kW汞放電燈
Primelite UV LED曝光系統--先進光引擎ALE TWO (ALE/2)是一款高性能UV點光源,適用於需要完美均勻且準直輻射的大型基板曝光設備,如8吋或12吋光罩對準曝光機。其紫外線輸出功率強大,甚至可為曝光面積高達400 X 400毫米的大型方形基板提供足夠的照射強度 - 在某些情況下,甚至還可超出這個曝光範圍。基於UV LED技術,其性能優於傳統高壓汞放電燈,具有出色的光源輸出穩定性和靈活的光譜控制,還具備低能耗、不產生太多的熱、使用壽命長,且整體維護成本低等優勢。
ALE/2 UV LED曝光系統充分利用Primelite的技術平台,讓您在光路中組合四個回饋控制的高功率UV LED。提供i line (CWL 365 nm)和寬頻(CWL 365 / 405 / 436 nm)的光譜配置。在僅需i-line的製程中,ALE/2 UV LED曝光系統的性能可與額定功率高達5KW的傳統放汞電燈相媲美。對於寬頻用例,其照射功率與2KW汞放電燈相當。
產品特色:
光譜 | 光角分布 (聚光鏡輸出) |
功率:
版權所有 © 展締科技股份有限公司. All Rights Reserved.