先進UV LED光引擎ALE/2微影曝光系統

先進UV LED光引擎ALE/2微影曝光系統

業界最強UV LED點光源

規格與說明

ALE/2 UV LED曝光系統可取代傳統2-5 kW汞放電燈

Primelite UV LED曝光系統--先進光引擎ALE TWO (ALE/2)是一款高性能UV點光源，適用於需要完美均勻且準直輻射的大型基板曝光設備，如8吋或12吋光罩對準曝光機。其紫外線輸出功率強大，甚至可為曝光面積高達400 X 400毫米的大型方形基板提供足夠的照射強度 - 在某些情況下，甚至還可超出這個曝光範圍。基於UV LED技術，其性能優於傳統高壓汞放電燈，具有出色的光源輸出穩定性和靈活的光譜控制，還具備低能耗、不產生太多的熱、使用壽命長，且整體維護成本低等優勢。

ALE/2 UV LED曝光系統充分利用Primelite的技術平台，讓您在光路中組合四個回饋控制的高功率UV LED。提供i line (CWL 365 nm)和寬頻(CWL 365 / 405 / 436 nm)的光譜配置。在僅需i-line的製程中，ALE/2 UV LED曝光系統的性能可與額定功率高達5KW的傳統放汞電燈相媲美。對於寬頻用例，其照射功率與2KW汞放電燈相當。

產品特色：

內建解決方案可實現最大曝光效率與效能
高達70W的i line曝光(CWL 365 nm)
高達80W的寬頻曝光(350 - 450 nm)
閉迴路控制的光源輸出可達到最佳的製程穩定性
不含汞！安全且環保的LED光源
UV LED技術可延長使用壽命並降低總體擁有成本TCO
優異的德國製造品質

ALE/2曝光系統之光源輸出:

ALE/2標準配置是將峰值波長與汞燈光譜i line (365 nm)、h line (405 nm)和g line (436 nm)相當的UV LED晶片組合而成，也可提供純i-line光源。所有的UV LED晶片均可單獨控制，因此無需更換濾波片即可切換波長，並可自訂輸出光譜的組成。

光譜	光角分布 (聚光鏡輸出)

功率：

Radiation [mW]1

Broadband

(350 - 450 nm)

i-line (365 nm)

ALE/2 (高性能模式)

80,000

70,000

ALE/2 (標準能模式)

70,000

60,000

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先進UV LED光引擎ALE/2微影曝光系統