配備最先進雙感測器的計量技術，精確對準後，可同時進行雙面幾何測量，自動化計算各種材料上下層或整體厚度、TMT、TTV。
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AOP Thickness平台是設計為了同時量測物件上下形貌的解決方案，配備上下雙高速線或點感測器和高精準度XY平台，橫向測量範圍高達 400 mm x 400 mm，厚/高度測量範圍可達到 2 mm至 145 mm，垂直解析度為 0.2 µm至 5 µm。專屬操控軟體提供自動化量測和校正功能，以及客製化分析軟體提供自動化計算各種材料上下層或整體厚度、TMT、TTV等參數。
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