全新的Solarius高階檢測製程平台,適用於半導體業自主製造且符合SECS/GEM標準的晶圓計量工具,可用於檢查IC、微透鏡或MEMS 等半導體製程所製造的元件。
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SIMP是全新的 Solarius高階檢測製程平台,適用於檢查IC、微透鏡或MEMS 等半導體製程所製造的元件,且符合SECS/GEM標準的晶圓計量工具。SIMP允許整合Solarius產品組合中,所有提供的光學感測器技術,以及多個感測器的組合,包括彩色共焦點和線感測器、共焦區域感測器、雷射線三角測量感測器、干涉感測器和 2D 攝影機系統。
SIMP採用模組化概念,允許處理所有晶圓尺寸和類型,包括超薄晶圓和Taiko晶圓,完全符合SEMI要求的標準製作。在Windows軟體平台上,實現可以簡單、直觀操作的使用者介面,並提供警慎的防錯功能。此外,還可以選擇符合FDA標準的審計追踪,以滿足醫療領域的國際要求和標準。
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