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專用型客製機型
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Matrix 30003
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Matrix 3000

它是一個完全客製化的系統,配備有多種感測器和傳動控制裝置,與SolarScan和SolarCore操控軟體相結合,而提供最高效率的特定解決方案,用於微型光學元件的完全客製化的大批量檢測設備。

規格與說明

觀看 Matrix 3000 產品說明影片


Matrix 3000是Solarius先進整合技術的一個成功案例。它是由3個高速干涉儀組成,可在不到 260毫秒的時間內測量樣品,重複精度為100 nm。測量序列還包括兩台由準直遠心光源支援的1200萬像素相機,視覺平台的資料擷取少於200毫秒。該系統的複雜傳動控制組件,結合了奈米精度線性致動器、快速步進平台和高精度真空發生器。總共9個精密軸協同工作,利用精確取放和定位技術,在2站測量序列中移動樣品。


SolarScan軟體平台整合了傳動、數據收集和分析。使用者介面有助於工程人員輕鬆存取基本工具,而不會給製造環境中的操作員帶來過多負擔。Matrix 3000高級計量平台可測量18種不同的特徵,以次微米精度進行分析結果,並對分出通過和失敗的萃盤進行分類,每個樣品的時間不到2秒。

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