超薄晶圓取放傳送系統 mWL 150/200t是專為自動取放傳送150/200 mm (6”/8”) 超薄晶圓設計,達到EFEM功能,並可視晶圓特性,搭配利用伯努利真空原理,正面、背面或側面擷取晶圓的夾爪。
超薄晶圓取放傳送系統 mWL 150/200t模組化設計理念的一致性,保證了與最廣泛的開放式晶圓盒的完全相容性,將150/200 mm (6”/8”)晶圓從晶圓盒全自動裝載到客戶要求整合OEM工具的定制載台上。先進的感測器技術確保可靠檢測所有不同的wafer類型。
系統特性:
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