TAIKO外環移除系統mRR 300是專為自動化取下不同預切深度的300 mm (12”) TAIKO wafer外環所設計,達到去環功能。並可視框架晶圓特性,搭配利用真空原理,背面擷取框架晶圓的夾爪。
TAIKO外環移除系統mRR 300模組化設計理念的一致性,保證了與最廣泛的晶圓載體FOUP的完全相容性,將300 mm (12”)晶圓從晶圓盒全自動裝載到定制的載台上,並自動化取下不同預切深度的TAIKO wafer外環。先進的感測器技術確保可靠檢測所有不同的TAIKO wafer外環均已去除。
系統特性:
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