預先對位儀mPA可提供6"到12"晶圓對準之用。先置晶圓在中心，再精準地循邊找到凹口或平邊，達到定位對齊的目的。
預先對位儀mPA由於夾爪和預先對位儀之間的“真空傳遞”，故能在晶圓背面始終以最小接觸面積穩固晶圓。多種mechatronic夾爪可搭配用於預先對位儀的裝載和卸載。特點如下
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