先進的光學和感測器組合 MEK的精密測量技術為線上膜厚量測於速度、精度和可靠度上樹立了新的標準，同時不受製程外部干擾(例如產線波動、溫度、振動和其他環境因素)的影響。
感測器種類*可提供特定應用機型
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