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半導體光電產業應用2
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FHR｜真空鍍膜設備
半導體光電產業應用

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半導體光電產業應用

我們的核心技能在建造專用的生產設備：

  • 集群系統適用於小面積和矽晶片基板的處理和濺鍍
  • 捲對捲系統適用於鋁箔和軟性基板之濺鍍（捲繞式設備）
  • 在線式系統適用於大面積沉積和建築玻璃濺鍍
  • ALD反應器適用於原子層的沉積
  • 電漿源和氣體調節系統
  • 單一靶材及焊合的靶材

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半導體光電產業應用之特定建構

我們的產品適用於產業和研究開發

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