半自動3D檢測設備，可配備不同類型3D表面測量感測器，待測物尺寸可至12”（300 mm），適合一般的生產速度，製程管控、QAC、產品工程尺寸確認等，需要在垂直方面達到 sub-um級精確度的量測。
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Atlas是應用於品保和製程管控的獨立模組化表面3D測量設備。基於使用者的具體需求，Atlas可配備不同類型3D表面測量感測器，橫向量測範圍可至300 x 300 mm，垂直量測解析可至2 nm，使其成為滿足各種測量要求的理想設備。基於Atlas強大的靈活性，各種不同的材料以及複雜的幾何結構都能精確掃描。Atlas的軟體系統支援生產環境下的自動化與高效測量。
| Sensor Types | Chromatic confocal point sensors Chromatic confocal line sensors White light interferometric sensors Line triangulation sensors |
| Lateral Working Range | up to 400 mm x 400 mm |
| Vertical Working Range | 100 µm to 80 mm |
| Lateral Resoultion | 1 µm up |
| Vertical Resolution | 1 nm up |
| Scope of Delivery | Basis system with axes & controller Sensor accordingly to specification System PC, 19" rack model Solar ScanNT software, Win10 x64 Solar Map data analysis software |
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