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Atlas3
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Atlas

半自動3D檢測設備,可配備不同類型3D表面測量感測器,待測物尺寸可至12”(300 mm),適合一般的生產速度,製程管控、QAC、產品工程尺寸確認等,需要在垂直方面達到 sub-um級精確度的量測。

規格與說明

觀看 Altas 產品介紹影片

Atlas是應用於品保和製程管控的獨立模組化表面3D測量設備。基於使用者的具體需求,Atlas可配備不同類型3D表面測量感測器,橫向量測範圍可至300 x 300 mm,垂直量測解析可至2 nm,使其成為滿足各種測量要求的理想設備。基於Atlas強大的靈活性,各種不同的材料以及複雜的幾何結構都能精確掃描。Atlas的軟體系統支援生產環境下的自動化與高效測量。


Sensor Types Chromatic confocal point sensors
Chromatic confocal line sensors
White light interferometric sensors
Line triangulation sensors
Lateral Working Range up to 400 mm x 400 mm
Vertical Working Range 100 µm to 80 mm
Lateral Resoultion 1 µm up
Vertical Resolution 1 nm up
Scope of Delivery Basis system with axes & controller
Sensor accordingly to specification
System PC, 19" rack model
Solar ScanNT software, Win10 x64
Solar Map data analysis software

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