它是一個完全客製化的系統，配備有多種感測器和傳動控制裝置，與SolarScan和SolarCore操控軟體相結合，而提供最高效率的特定解決方案，用於微型光學元件的完全客製化的大批量檢測設備。
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Matrix 3000是Solarius先進整合技術的一個成功案例。它是由3個高速干涉儀組成，可在不到 260毫秒的時間內測量樣品，重複精度為100 nm。測量序列還包括兩台由準直遠心光源支援的1200萬像素相機，視覺平台的資料擷取少於200毫秒。該系統的複雜傳動控制組件，結合了奈米精度線性致動器、快速步進平台和高精度真空發生器。總共9個精密軸協同工作，利用精確取放和定位技術，在2站測量序列中移動樣品。
SolarScan軟體平台整合了傳動、數據收集和分析。使用者介面有助於工程人員輕鬆存取基本工具，而不會給製造環境中的操作員帶來過多負擔。Matrix 3000高級計量平台可測量18種不同的特徵，以次微米精度進行分析結果，並對分出通過和失敗的萃盤進行分類，每個樣品的時間不到2秒。
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