TAIKO外環移除系統 mRR 200是專為自動取下不同預切深度的200 mm (8”) TAIKO wafer外環所設計，達到去環功能。並可視框架晶圓特性，搭配利用真空原理，背面擷取框架晶圓的夾爪。
TAIKO外環移除系統mRR 200模組化設計理念的一致性，保證了與最廣泛的開放式晶圓盒的完全相容性，將200 mm (8”)晶圓從晶圓盒全自動裝載到定制的載台上，並自動化取下不同預切深度的TAIKO wafer外環。先進的感測器技術確保可靠檢測所有不同的TAIKO wafer外環均已去除。
系統特性：
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